对于材料加工,高重复频率的脉冲激光系统需要速度高达1000 m/s的扫描振镜,而高脉冲能量的激光系统需要新的分束和光束整形理念来分配能量。多光束概念是为了更好地利用脉冲能量而提出的一个方案,它涉及将一个激光束分裂成多个光束。在弗劳恩霍夫激光技术研究所(弗劳恩霍夫ILT),一个研究小组开发了衍射光学元件(DOEs),通过该光学元件进行激光分束从而获得大量光束,并将其应用于微纳米结构的制造,使其能够在亚微米范围内获得精确的结果。
钻孔
日前,美国能源部(DOE)所属的劳伦斯伯克利国家实验室宣布,科学家将激光脉冲加热并通过等离子体进行“钻孔”,将粒子置入几十厘米长的管中,几乎使以前的激光驱动粒子加速记录翻了一倍。
长脉冲光纤激光器能够显著改善冷却孔的参数,因此获得了航空领域的广泛关注。使用光纤激光器钻孔,速度更快,质量更高,孔的性状更统一,操作成本更低,还能形成一些过去无法形成的几何形状或效果。
三菱重工机床有限公司开发了使用皮秒DUV激光器的光学系统和加工技术,以实现更高质量的更精细钻孔。本文将阐述皮秒DUV激光器的基本加工特性,以及利用ABLASER实现的超精密钻孔应用。