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相干公司激光切割子系统

Coherent公司的PowerLine AVIA NX是一款激光切割子系统,它将高功率紫外激光器与精密扫描光学系统相结合,可提供快速的生产以及高的切割质量。 

该器件可处理晶圆,系统级封装和印刷电路板等。双轴检流计偏转器、光束扩展器和f-theta扫描透镜在工作表面产生很小尺寸的聚焦光斑,并具有较高的定位精度和稳定性,以实现精细的特征和窄区域切割以最小的热影响区。

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