深紫外激光加工系统
三菱重工的ABLASER-DUV深紫外（DUV）激光系统，使用短脉冲DUV激光器，提供更小的焦斑直径（10μm），同时保持长焦深，可用于高精度微加工和钻孔应用。
其主要特性包括短脉冲振荡器用于激光的快速激发，使用与公司其他ABLASER产品相同的光学头，以及高精度透镜和棱镜，用于随意折射和旋转激光束。由于DUV激光器的光子能量大，它能加工之前难以处理的诸如玻璃、化合物半导体等材料。
三菱重工，www.mhi-machinetool.com/en
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